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◆温室効果ガスの使用状況

液晶ディスプレイの製造工程では、PFC（パーフルオロカーボン）等のフッ素系の温室効果ガス（温室効果ガス全般と区別するため、以下、PFC等と称します）を用いています。具体的には、薄膜を除去するエッチングや、薄膜を形成するCVD（化学気相成長）装置のクリーニングに、主に表1に示す6種類のPFC等が使用されています。

表1　液晶ディスプレイの製造工程で使用されている主なPFC等

分類	略称	化学式	地球温暖化係数 (*)
HFC（ハイドロフルオロカーボン）	HFC-23	CHF3	14,800
PFC（パーフルオロカーボン）	PFC-14	CF4	7,390
	PFC-116	C2F6	12,200
	PFC-c318	c-C4F8	10,300
SF6（六フッ化硫黄）	-	SF6	22,800
NF3（三フッ化窒素）	-	NF3	17,200

(*) 温室効果の強さを、二酸化炭素を１として示した係数。
IPCC第4次評価報告書2007における100年値を示す。 

◆温室効果ガスの排出量削減

液晶ディスプレイ業界では、表１に示した6種類のPFC等の排出量についての自主目標を設定し、その削減に取り組んできました。特に、PFC等を排出する前に燃焼やプラズマにより分解する装置（除害装置）の設置を強力に進めてきました。 PFC等の購入量、排出量の推移を生産面積と合わせ図1に示します。購入量は生産面積とほぼ対応して大幅な増加傾向が続いていますが、排出量は2000年をピークに減少に転じました。これは、主として図2に示す除害装置設置率の向上により実現したものです。2009年には除害装置設置率が99％に達しました。このように、業界として取組みを進めることで、温室効果ガス（PFC等）の排出量の顕著な削減を図ることができました。

◆F-GHG測定・管理ガイドラインの制定

PFC等はフッ素系温室効果ガス(F-GHG, Fluorinated Greenhouse Gas)とも称されます。半導体業界と液晶ディスプレイ業界は、同様のプロセス・装置でF-GHGを用いています。そこで、共同で、F-GHGの測定・管理ガイドラインを制定しています。

F-GHG測定・管理ガイドライン